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    FF一160750复合分子泵
    作者:安徽瑞志信息技术有限公司 日期:2018-03-30 11:06:21

    FF-160/750复合分子泵技术性能

    分子泵型号

    FF-160/750

    进气口法兰

    LF160

    CF160

    抽气速率

    750升/秒

    750升/秒

    压缩比

    N109

    H5×103

    N109

    H2  5×103

    极限压强(Pa)

    <2×10-6

    <2×10-7

    排气口法兰

    KF40

    启动时间

    <6分钟

    额定转速

    36000转/分

    振动值

    ≤0.1μm

    建议采用前级泵

    8升/秒

    充油量

    110ml

    安装方式

    竖直±5°

    冷却方式及温度

    水冷、水温≤25℃

    泵体烘烤温度

    <120℃

    环境温度

    5℃~40℃

    重量

    24公斤

    25公斤


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