FF一160750复合分子泵
作者：安徽瑞志信息技术有限公司 日期：2018-03-30 11:06:21
FF-160/750复合分子泵技术性能
分子泵型号 | FF-160/750 | ||
进气口法兰 | LF160 | CF160 | |
抽气速率 | 750升/秒 | 750升/秒 | |
压缩比 | N2 109 H2 5×103 | N2 109 H2 5×103 | |
极限压强(Pa) | <2×10-6 | <2×10-7 | |
排气口法兰 | KF40 | ||
启动时间 | <6分钟 | ||
额定转速 | 36000转/分 | ||
振动值 | ≤0.1μm | ||
建议采用前级泵 | 8升/秒 | ||
充油量 | 110ml | ||
安装方式 | 竖直±5° | ||
冷却方式及温度 | 水冷、水温≤25℃ | ||
泵体烘烤温度 | <120℃ | ||
环境温度 | 5℃~40℃ | ||
重量 | 24公斤 | 25公斤 | |
