FF一2001200复合分子泵
作者:安徽瑞志信息技术有限公司 日期:2018-03-30 10:37:40
FF-200/1200复合分子泵技术性能
分子泵型号 | FF-200/1200 | |
进气口法兰 | LF200 | CF200 |
抽气速率 | 1200升/秒 | 1200升/秒 |
压缩比 | N2 109 H2 5×103
| N2 109 H2 5×103 |
极限压强(Pa) | <2×10-6 | <2×10-7 |
排气口法兰 | KF40 | |
启动时间 | <7分钟 | |
额定转速 | 27000转/分 | |
振动值 | ≤0.1mm | |
建议采用前级泵 | 12升/秒 | |
充油量 | 110ml | |
安装方式 | 竖直±5° | |
冷却方式及温度 | 水冷、水温≤25℃ | |
泵体烘烤温度 | <120℃ | |
环境温度 | 5℃~40℃ | |
重量 | 28公斤 | 29公斤 |