FB一4004200涡轮分子泵
作者:安徽瑞志信息技术有限公司 日期:2018-03-30 10:26:43
FB-400/4200涡轮分子泵技术性能
分子泵型号 | FB-400/4200 |
进气口法兰 | LF400 |
抽气速率 | 4000升/秒 |
压缩比 | N2 108 H2 5×102 |
极限压强(Pa) | <2×10-6 |
排气口法兰 | LF100 |
启动时间 | <18分钟 |
额定转速 | 16200转/分 |
振动值 | ≤0.2μm |
建议采用前级泵 | 30升/秒 |
充油量 | 320ml |
安装方式 | 竖直±5° |
冷却方式及温度 | 水冷、水温25℃ |
泵体烘烤温度 | <120℃ |
环境温度 | 5℃~40℃ |
重量 | 108公斤 |