分子泵是否“无油”？

分子泵是否“无油”？这是一个老问题了。
从工作机理来说，分子泵对油蒸汽的压缩比很高，即使前级有油蒸汽存在，高真空室通常无法检测到油蒸汽，所以，往往被称为“ 无油”泵。其实，上述说法只有在分子泵操作步骤合理时才能成立。
分子泵处于停止状态，泵的轴承（磁悬浮轴承除外）和前级泵（干式前级泵除外）的润滑油蒸汽可能扩散到高真空室。
1）停泵状态：气体的扩散速度与压强平方成反比。停泵状态，只要压强＞50Pa，对大部分用户来说，油蒸汽的扩散可以忽略，可以认为“无油”。
2）制动过程：分子泵制动过程中，真空室压强逐渐升高，zui终达到前级真空水平。显然，真空室中的气体绝大部分是由前级扩散过来的，前级真空中的油蒸汽理所当然会带进真空室。
4）爬油问题：不论停泵、还是运转，润滑油都会沿转轴和叶轮爬向高真空室。分子泵运行时，若抽除油蒸汽的速率超过爬油速率，则问题不大，反过来就不大妙了。
5）返油通道：为了提高抽速，现有涡轮分子泵通常采用透光叶轮，因此，在分子泵内部，高真空与前级真空之间，存在直通通道，构成返油路径。
对于同时采用磁悬浮轴承和干式前级泵的分子泵抽气系统，才是无油真空系统。然而，该系统十分昂贵，大部分用户难以承受。
下面着重讨论几种费用不大的应对策略：
1）启动过程
小型真空设备，分子泵和前级泵同时启动可以有效减少启动过程中的返油。
大 型真空设备，在真空室压强抽至50-100Pa时，即启动分子泵低速运转，可减少返油。现有分子泵大多可以在较高的压强下低速运转，但各厂家，甚至同一厂家、不同型号产品的高压强运行能力有很大差异，操作起来不容易把握，一旦出现问题，损失不小。此外，低速运转时，分子泵的挡油能力也有所减弱。
2）制动过程
若在分子泵压缩级中部设充气口，当泵的转速降至约1/3标称值时，注入N2、干燥空气、或其它清洁气体，可以阻挡前级真空的油蒸汽进入高真空室。
3）采用分子增压泵也是一种理想的解决办法。该泵可在50-100Pa的高压强下连续运行。
    真空泵返油是一个十分具体的应用问题，学究式的讨论无多大意义。在实际工作中，只要返油量不影响真空产品的质量就行了。