以下是氦质谱检漏仪品牌特别整理的有关真空箱氦检设备的日常巡检要点，希望对正在以及将要使用真空箱氦检设备的朋友们提供一些帮助。

　　设备重点保养：

　　真空箱氦检漏设备日常巡检：

　　在日常的巡检中要对几个重点部位进行检查;

　　箱门密封的清洁情况，表面有无破损，接口处是否有缝隙;

　　箱体内是否清洁，有无异物存在：箱接头密封是否有及时更换，及时加油润滑;

　　油色清澈透明，有无漏油现象，泵温在正常范围不过热;

　　检漏仪温度及泵油在要求范围，油色清澈透明;

　　配电柜的清洁无污，通风良好;

　　电磁阀固定螺丝有无松动掉落;

　　各气源有无漏气现象：箱门滑轨润滑情况;

　　设备本底值是否在正常范围，有无波动现象;

　　设备整体5S和日常点检的准确真实性;

　　在巡检中发现问题要及时处理，避免引起较严重的故障。

　　真空箱氦检漏设备重点部位维修保养：

　　根据巡检的情况及时处理问题，消除缺陷;

　　保养时应从重点入手，消除故障隐患;

　　真空泵：真空泵油的更换，排气过滤器的更换，泵体周围漏油修复，真空极限检测;

　　管路：连接处紧固，过滤器清洁，管路固定;

　　真空阀门：内部清理、检漏螺丝固定、法兰紧固;

　　箱门：错位调整;密封磨损更换，表面清洁;

　　检漏仪：泵油更换，通风风扇情路;

　　电磁阀：螺丝紧固，阀芯检查，动作确认